Fizyczna metoda fazy gazu układania jest głównym nurtem metody przygotowania powłok PVD, w tym powłoki próżniowej, rozpylania magnetronowego i poszycia łukowego, wśród których, gdy poszycie jonów jest wykorzystywane do przygotowania powłok PVD, szybkość jonizacji jest wysoka, szybkość akumulacji jest szybka, i ma zalety dużego zdarzenia energii jonowej, wysokie wiązanie filmowe, i dobrej jakości skóry. Jednak ta powłoka PVD ma duże zanieczyszczenie cząstek, co prowadzi do takich problemów, jak wygląd szorstkiej powłoki, dodanie porowatości i niestabilna funkcja powlekania, co wpływa na stosowanie klientów. Oto jak poprawić powłokę PVD za pomocą dużych cząstek.
1. Wprowadzenie elementów ziem rzadkich
Wprowadzenie rzadkich elementów w celach katodowych i powłokach PVD w celu zmniejszenia cząstek poszycia jonowego i poprawy drobnej gęstości powłok oraz w celu poprawy właściwości fizycznych i mechanicznych oraz właściwości o wysokiej temperaturze powłok poprzez mechanizm modyfikacji Ziemi rzadkiej, efekt jest oczywisty. Ziemia rzadka ma oczywisty wpływ na zmniejszenie kropelek, a powłoka PVD zmodyfikowana przez ziemię rzadką ma nie tylko niewielką gęstość kropli, ale ma również mniej dużych kropel. Przyczyna poprawy stanu cząstek powłokowych CE Ziemi Rzorowej powinna być bezpośrednio związana z metalurgiczną jakością celów postępu ziem rzadkich.
Szeroko wykorzystywane pierwiastki ziem rzadkich są metalurgicznym procesem CE w odgadywaniu się, odsiarczaniu i hartowaniu właściwości materiałów metali. Jakość i funkcjonalność materiału można podnieść, wprowadzając odpowiedni rozcieńczony element CE do celu. Niewiele porów, jednorodna skład i drobne ziarna wysokiej jakości materiału docelowego pomagają udoskonalić cząstki wytwarzane z katody. Może to obniżyć możliwość fragmentacji materiału i pluskania w obszarze basenu mikromelta łukowego katody wynikającego z wysokiego ciśnienia wytwarzanego przez nagłe rozszerzenie gazu w zamkniętych porach w wysokiej temperaturze. Unikając lub łagodząc zawalenie się i przelot słabo związanych materiałów wynikających z częściowych pól elektrycznych lub naprężenia termoelastycznego, układ docelowy może pomóc w obniżeniu wytwarzania dużych cząstek. Oprócz CE elementy ziem rzadkich, takie jak Y lub LA, mają porównywalny wpływ.
2. Nowy układ elektromagnetyczny
Ta umiejętność została rozważona z projektu ulepszonych celów katodowych i optyki plazmy. Chodzi o zaprojektowanie nowej struktury pola magnetycznego wewnątrz i na zewnątrz celu, w tym specjalnej cewki elektromagnetycznej i magnesu stałego o określonej konstrukcji, aby tworzył łukowy system pola magnetycznego w celu katody, aby kontrolować i regulować ścieżkę biegania plamki łuku katodowego, przyspieszyć jego prędkość ruchu i skrócić czas miejsca zamieszkania łukowego punktu łukowego.
3. Dodaj przegrodę do urządzenia
Analiza ujawnia, że dominujący rozkład dużych cząstek znajduje się w obszarze pod kątem 60 stopni na powierzchni celu łuku; Zatem przegroda może być umieszczona przed celem łuku, aby obniżyć poziom zanieczyszczenia warstwy wielkiej cząstki. Podczas gdy wielkość dużych cząstek była mniejsza niż 2 μm, gęstość dużych cząstek spadła z 2,3 x 105/mm2 do 1,4 x 103/mm2 bez przegrody, nie zmieniła się zasadniczo. Ale po wprowadzeniu przegrody cel powłoki PVD cierpi na oprócz obniżenia szybkości akumulacji.
4. Umiejętności katody puste
W łuku powłoka PVD w stosy jonowym wprowadzana jest wiązka elektronów emitowana przez pustą katodę w celu zmniejszenia wielkości cząstek przygotowanej powłoki, ale ta metoda wymaga dodania pustego urządzenia katodowego w konwencjonalnym sprzęcie do gatunku jonowego.
5. Arc filtr magnetyczny
Metoda wprowadzenia osocza do komory akumulacyjnej za pomocą filtra magnetycznego ARC w celu oddzielenia dużych cząstek od osocza osiągnęła dobry efekt, ale szybkość akumulacji tej metody jest znacznie niższa niż zwykłe poszycie jonów łukowych.
Powyższe jest wprowadzenie metody ulepszania dużych cząstek powłoki PVD, w przygotowaniu powłoki PVD można odwoływać się do powyższych pięciu metod, aby zapewnić, że struktura powierzchni powłoki jest drobna, porowatość jest niska, a właściwości są stabilne, tak aby efekt stosowania powłoki byłby lepszy.